에스엔텍 은 SoW 양산을 위해 최근 시화공단 입주계약을 체결했다고 17일 밝혔다. 에스엔텍 은 공장에 대한 환경 인허가 승인을 받아 양산 준비 공사와 국내외 주요 고객사 테스트를 거쳐 3분기부터 양산할 계획이다.

SoW는 웨이퍼 형태로 챔버 내 온도 및 플라즈마 상태를 실시간으로 측정해주는 센서다. 반도체 미세공정화로 제조공정상의 정밀 진단·제어 시스템 수요가 확대되고 있다.

회사 관계자는 “SoW는 기존 장비사업 위주의 사업구조를 보완하기 위한 부품·소재사업 육성의 일환으로 오랜 기간 준비해 온 아이템 가운데 하나”라며 “SoW 사업을 발판으로 향후 시장 확대 가능성이 큰 정밀공정 진단·제어 시스템의 다양한 응용 분야를 장기적으로 개척 하겠다”고 밝혔다.

한편 에스엔텍은 최근 ‘플라즈마 측정용 웨이퍼’ 4건에 대한 특허협력조약(PCT) 국제출원을 마쳤다. PCT 국제출원은 다수의 PCT 가입국을 상대로 국제출원일을 인정받아 출원에 대한 우선권을 인정받는 제도다.

에스엔텍은 지난 2017년 4월 산업통상자원부가 주관하는 ‘실시간 반도체 공정 상태 진단을 위한 웨이퍼형 공정진단 시스템 개발’ 국책과제에 선정돼 연구개발을 진행하고 있다.

 박성규기자 (skpark@rpm9.com)